超純水是為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當?shù)某R界精細技術生產出來的水，其電阻率大于18 MΩ*cm，或接近18.3 MΩ*cm極限值（25℃）。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水 [2]  。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質量難以保證。

超純水渦輪流量計主要測量不導電介質,連接方式有螺紋,法蘭以及快裝連接,現(xiàn)場顯示并可輸出電流信號和通訊,供數(shù)據(jù)遠傳使用.

廈門精川純水流量計,純凈水渦輪流量計常見故障及解決方案:

一、流體正常流動時無顯示，總量計數(shù)器字數(shù)不增加 

　　1. 檢查電源線、保險絲、功能選擇開關和信號線有無斷路或接觸不良 

　　2. 檢查顯示儀內部印刷版，接觸件等有無接觸不良 

　　3. 檢查檢測線圈 

　　4. 檢查傳感器內部故障，上述1-3項檢查均確認正?；蛞雅懦收?，但仍存在故障現(xiàn)象，說明故障在傳感器流通通道內部，可檢查葉輪是否碰傳感器內壁，有無異物卡住，軸和軸承有無雜物卡住或斷裂現(xiàn)象 

解決方案 

　　1. 用歐姆表排查故障點 

　　2. 印刷板故障檢查可采用替換“備用版”法，換下故障板再作細致檢查 

　　3. 做好檢測線圈在傳感器表體上位置標記，旋下檢測頭，用鐵片在檢測頭下快速移動，若計數(shù)器字數(shù)不增加，則應檢查線圈有無斷線和焊點脫焊 

　　4. 去除異物，并清洗或更換損壞零件，復原后氣吹或手撥動葉輪，應無摩擦聲，更換軸承等零件后應重新校驗，求得新的儀表系數(shù) 

二、 未作減小流量操作，但流量顯示卻逐漸下降 

　　1.  過濾器是否堵塞，若過濾器壓差增大，說明雜物已堵塞 

　　2.  流量傳感器管段上的閥門出現(xiàn)閥芯松動，閥門開度自動減少 

　　3.  傳感器葉輪受雜物阻礙或軸承間隙進入異物，阻力增加而減速減慢 

解決方案 

　　1.  消除過濾器 

　　2.  從閥門手輪是否調節(jié)有效判斷，確認后再修理或更換 

　　3.  卸下傳感器清除，必要時重新校驗                      

廈門精川純水設備配套渦輪流量計解決方案 

　　1.  檢查屏蔽層，顯示儀端子是否良好接地 

　　2.  加固管線，或在傳感器前后加裝支架防止振動 

　　3.  檢修或更換閥 

　　4.  采取“短路法”或逐項逐個檢查，判斷干擾源，查出故障點

廈門精川超純水渦輪流量計應用:
超純水可以在以下領域使用 [4]  ：
（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
（2）化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。
（3）單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。
（4）高壓變電器的清洗等

超純水系統(tǒng)是指系統(tǒng)從原水至超純水完整產生的生產系統(tǒng)。 一般超純水系統(tǒng)是經(jīng)由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產生的超純水。